气动增压泵级连及故障分析

申承志马培圣

【摘要】：基于实际应用,介绍了气动增压泵原理和级连方法。总结了对增压泵的维修经验,阐述了缺少进口增压泵维修资料的现状。分析了增压泵的常见故障和一些特殊故障。采用观测方法测试了增压泵1的P1口压强和增压泵2的换向阀右端压强。给出了增压泵1不受控的原因和增压泵2停止不动的原因。指出今后的发展方向主要集在提高可靠性和小型化上。结果表明,如果有备件,进口增压泵可以做到现场维修,从而提高维修速率和设备完好率。【作者单位】：中国电子科技集团公司第十三研究所;

【关键词】： 气动增压泵 级连维修故障分析压缩空气换向阀气体压强控制阀工作频率增压缸引言

气动增压泵结构紧凑、增压比高、无油、无需电驱动[1],因此某些半导体设备使用了增压泵。在要求气量大、压强高的情况下,气动增压泵有着明显的优势。如果使用气瓶,气瓶里的气体会很快用光,换气瓶成了一件麻烦的事情。有些设备要求增压泵对去离子水等液体进行增压,然后让高压液体喷射出来，对Si片等进行清洗。 气动增压泵一旦出现故障，该设备就不能使用了。这些设备大多用的是进口气动增压泵，要购买新泵介格高、周期长，因此有必要介绍气动增压泵原理入故障分析，提高对增压泵的维修水平。

气动增压泵原理和特点 气动增压泵可分为气动气体增压泵和气动液体增压泵，它们具有许多的共性，但是也有一些差别，比如它们的单向阀结构不一样，气体和液体的可压缩性不同，另外气动液体增压泵的增压缸活塞常使用柱塞。在这里只对气动气体增压泵进行讨论。它的理论增压比是驱动缸活塞面积S1：增压缸活塞面积S2，实际增压比能达40：1，但是在工业应用中推荐10：1或更少的压缩比。更多“气动增压泵级连及故障分析”请阅读作者原文。

当前位置：首页 >> 公司动态 >> 行业资讯发布时间： 2015-01-15
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